防止洁净室静电放电的方法 上海

    防止洁净室静电放电的方法         上海   

一种防止洁净室静电放电的方法，可于一具有一层流装置的洁净室中去除静电荷，该洁净室中具有一层流装置，设置于该洁净室的天花板上；本发明先至少一设置于该层流的中具有一*高度的离子产生器，该离子产生器包含有至少一发射管，且各该发射管的至少一输出端正对于该天花板，然后再至少一设置于该层流的中且具有一第二高度的传输系统，用以传送至少一载具，zui后利用至少一电压源施加于各该发射管之上，以去除该洁净室中的静电荷；本发明将该离子产生器的发射管的输出端正对于该天花板，可避免因电场强度会过规格的上限而对自动传输轨道上的载具所携的材料造成破坏．